发布时间：2023年08月23日 11:06
点击：专利名称：一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器
申请号： CN201310138347.8
发明人： 王璟璟; 陈达; 孙学军; 金荧荧; 干耀国
摘要：
本发明公开了一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，包括基片、声反射层、压电层以及设置于压电层表面的至少一对电极对。电极对中两个电极的内侧边缘为至少包含两个尖齿的锯齿形状，外侧边缘为相互平行的直线，两个电极的长度相同。两个电极激发出的电场非对称分布，抑制纵波模式谐振和声表面波、次表面波等寄生杂波的产生，提高剪切波模式谐振的品质因数，从而在液体生化传感中具有更高的灵敏度和分辨率。
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